様々なウェハ、基板への
マイクロバンプ加工実績
通常のSiウェハ以外にも、SiC, GaAs, InP, サファイア等、
また、ウェハ以外の四角形状基板や、フレキシブル基板へも
めっき、バンプ加工が可能です。
ウェハサイズは2~12inchまで対応可能です。
最小φ3μmのマイクロバンプの形成実績があり、
微細パターンのめっき加工を得意としております。
また、はんだバンプ以外にCuピラーのみの加工、
デイジーチェーン、RDL配線などのめっき加工も可能です。
半導体パッケージの高機能化、狭ピッチ化、
精密化・微細化に貢献します。