特殊基板洗浄サービス

特殊ウェハの付着物除去・金属不純物低減

 

 

 

当社では、2021年度より特殊ウェハの洗浄(再生)を行っております。

 

ザグリ形状などの治具ウェハや、熱電対付きウェハ、

アルミナ、石英、SiC、AlNといった、特殊材料ウェハを対象に、

ご使用の用途に応じた洗浄を提案いたします。

そのほか、各種ウェハの洗浄・再生についてもお問い合わせください。

 

新菱のウェハ再生サービスについては、こちらから