12inchウェハ めっきライン拡張・
ウェハ外観自動検査装置導入

【①26年度夏季稼働予定 12inchウェハめっき加工ライン増強】

・試作から量産までの供給能力向上
バンプ加工ニーズ増に対応するべく、より安定した加工キャパシティを確保しました。短納期化、多数の流動を可能にします。

・8inch限定だった低融点はんだめっきを、12inchで加工可能に
低耐熱デバイス実装用や化合物ウェハなどのバンプ加工に応える加工対象ウェハサイズを拡張しました。

・多様なめっき仕様を12inchでワンストップ対応
初回試作・パイロットプロダクション・量産の全ステージを見据えたプロセス提案が可能です。

【②ウェハ全面 自動外観検査装置導入】

• 全面を対象とした外観検査を実現
  ウェハ端部・面内バラつきも含めた品質確認が可能になりました。

• 全ショット・全領域を確認・局所欠陥の見逃しリスクを低減
  量産時の品質安定化と信頼性向上に貢献します。

• 人の目では限界のあった検査を自動化、量産に適した検査体制構築
  再現性の高い検査により、厳しい品質基準にも対応可能です。

  （※検査基準のセッティングには、工数が必要となります。予めご了承ください。）